对于氧气，纯度为99.99%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，高纯气体厂家，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。
高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气。
高纯氮气半导体硅行业应用：半导体和集成电路制造过程的气氛保护，清洗，化学品回收等。
制造了用于半导体硅行业的变压吸附制氮机，成功的取代了液氮，该系统在香港已无间歇运行近两年。

高纯氮气半导体封装行业应用：用氮气封装、烧结、退火、还原、储存。
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常见高纯气体的用途：氯可用作烟雾剂、冷冻剂、抗震剂、局部剂；高纯氮气粉末冶金，高纯标准气体，金属加工行业应用：热处理行业应用钢、铁、铜、铝制品退火、炭化，高温炉窑保护，池州高纯气体，金属部件的低温装配和等离子切割等。

常见高纯气体的用途：可用作生产增塑剂、润滑剂等；氯是重要的化剂，还可作致冷剂、发泡剂等；高纯氮气半导体硅行业应用：半导体和集成电路制造过程的气氛保护，清洗，化学品回收等。
制造了用于半导体硅行业的变压吸附制氮机，成功的取代了液氮，该系统在香港已无间歇运行近两年。
高纯氮气食品、行业行业应用：主要应用于食品包装、食品保鲜、食品储存、食品干燥和灭菌、包装、置换气、输送气氛等。

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